2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス

[16a-A13-9]SEM-EBSD法によるGaN膜の結晶方位マッピング時におけるFIBとカーボンデポを用いたドリフト抑制方法の評価

○森田博文1，江川孝志1，廣田秀樹2，二村和孝2(名工大1，日立ハイテク2)
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キーワード：

EBSD、FIB、Micro-sampling

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