2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス

[16a-A2-2]シリカ砥粒を用いたα-Al2O3基板の化学機械研磨メカニズムの第一原理計算による検討

○尾澤伸樹，周康，會澤豪大，樋口祐次，久保百司(東北大1)
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キーワード：

化学機械研磨、第一原理計算、サファイア

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