2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス
戻る
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス

[16a-B3-1]異なるガス流れ解法を用いたCZ-Si結晶成長におけるアルゴンガス流れおよび不純物輸送の予測

○劉しん，高冰，中野智，柿本浩一(九大応力研)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

cz

戻る