2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

2013年9月16日〜9月20日同志社大学京田辺キャンパス

[16a-B3-2]異なる結合状態のカーボン・バッファ層を用いたSi基板上Ge薄膜成長

○伊藤友樹1，畠山真慈1，奥野颯2，鷲尾勝由1,2(東北大院工1，東北大工2)
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キーワード：

カーボン、Ge、Si

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