[16a-C32-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

9:45 〜 10:00

[16a-C32-4] [第56回講演奨励賞受賞記念講演] 変形距離平面による局所構造分類に基づく非晶質アルミナ間のELNESスペクトル差異の解釈

〇湯澤 佑介¹、浅野 孝典¹、河合 宏樹¹、中村 健二¹、饗場 悠太¹、萩島 大輔¹、田中 洋毅¹ (1.キオクシア株式会社)

キーワード：

アルミナ、ELNES、STEM

非晶質材料の局所的な原子構造に関して理解を深める上で、STEM-EELS法を用いて得られる吸収端微細構造（ELNES）スペクトルを適切に解釈することは有用である。本研究では非晶質のELNESを従来よりも詳細に解釈するために、局所構造の特徴を捉える指標として「変形距離平面」という新たな概念を導入する。