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[16p-A25-16]InGaAs/SiハイブリッドフォトトランジスタとオンチップSi抵抗の一体集積によるTIA-less光パワーモニタの実証

〇赤澤 智熙1、李 強2、Guo-Qiang Lo2、トープラサートポン カシディット1、高木 信一1、竹中 充1 (1.東大院工、2.Advanced Micro Foundry)
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キーワード:

シリコンフォトニクス、受光器


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