講演情報
[16p-A31-19]ビニルシランを用いたCVD法による多層CNT上へのSiCコーティング
〇大島 直人1、土射津 佑起1、上原 賢一2、福地 真也3、中井 康夫3、五島 敬史郎1、安原 重雄2、竹内 和歌奈1 (1.愛知工業大学、2.株式会社ジャパンアドバンストケミカルズ、3.高圧ガス工業株式会社)
キーワード:
カーボンナノチューブ、炭化ケイ素、ビニルシラン
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