[16p-C301-1~18] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

18:00 〜 18:15

[16p-C301-17] ポリスチレン微小球単層最密配列を利用した超高面密度Siナノワイヤ配列の作製

〇(M1)岩田 拓樹¹、渡辺 健太郎^1,2 (1.信州大学、2.信州大学 ICCER IFES)

キーワード：

Siナノワイヤ、金属支援化学エッチング、微小球リソグラフィー