[16p-D63-1~17] CS.9 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェア

15:30 〜 15:45

[16p-D63-10] 窒化物半導体表面におけるエレクトロンカウンティング則の検証：ステップおよびキンクを含む表面での検討

〇秋山 亨¹、河村 貴宏¹ (1.三重大院工)

キーワード：

半導体表面、AlN、第一原理計算