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[16p-P05-2]インクジェット法を用いた分布ブラッグ反射鏡の作製における溶媒調整による成膜面の均一化

〇中浜 健伸1、一野 祐亮1、田岡 紀之1、森 竜雄1、清家 善之1 (1.愛知工大院)

キーワード:

分布ブラッグ反射鏡、インクジェット、溶媒

本報告の目的は、インクジェット法を用いたドット形状のDBRの作製のために、溶媒を調整して成膜面の均一化を行うことである。DBRはCopper (I) Thiocyanate (CuSCN)とCellulose Acetate (CA)を交互に積層させることで作製される。ジアセトンアルコールとアセトンを1:1の体積比で混合させた溶媒を用いたCA膜は均一に形成された。

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