[16p-P05-1~27] 12.1 作製・構造制御

[16p-P05-20] 青色半導体レーザー光還元法による高精細銀メッシュ型透明電極の開発

〇島田 青空¹、隼瀬 真衣¹、小野 篤史¹ (1.静岡大学)

キーワード：

透明電極、光還元、メタルメッシュ

本研究目的は肉眼にて不可視な金属線幅により形成されたメタルメッシュ型フレキシブル透明電極の開発である．透明電極の低抵抗化，フレキシブル化の観点からITOに代わる透明電極として金属メッシュ型構造が注目されている．本研究では微細金属メッシュパターン作製のため，レーザー光還元法を適用した．焦点域にて局所的に銀イオンを還元し，可視光透過率86％かつシート抵抗値14Ω/sqの銀メッシュ型透明電極を開発した．