[16p-P05-1~27] 12.1 作製・構造制御

[16p-P05-22] その場測定に向けたポータブルナノポアデバイス開発

〇植垣 史恩¹、山崎 洋人^1,2 (1.長岡技大、2.産学トップランナー)

キーワード：

ナノポア、絶縁破壊法、レーザーエッチング