[16p-P06-1~6] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-P06-1] φ50mmサイズMg₂Si結晶の単結晶化機構の調査

〇藤久 善司¹、木村 侑生¹、島野 航輔¹、坂根 駿也¹、劉 鑫²、宇佐美 徳隆²、鵜殿 治彦¹ (1.茨城大工、2.名古屋大工)

キーワード：

シリサイド半導体