講演情報

[16p-P07-14]液体金属を電極に用いたpn接合ダイオードの基礎的検討

西村 優1、田邉 真子1、〇内海 淳志1、石川 一平1、清原 修二1 (1.舞鶴高専)

キーワード:

pn接合ダイオード、液体金属、半導体教育

我々の研究室では,蒸着装置やスパッタ装置などを使用せずに短時間で作製できる半導体デバイス教材の実現を目指している.これまでに,電極に液体金属を用いたショットキーダイオード教材などを開発してきた.本研究では,液体金属を電極に用いたpn接合ダイオードの基礎的検討として,pn接合を形成するための不純物拡散,液体金属を電極に用いたダイオードの試作,およびその電流-電圧特性の評価を行ったので報告する.

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