講演情報
[16p-P07-17]Spin On Glassを用いた教育効果の高いpn接合デバイス作製
〇小林 奈和1、井戸川 槙之介1 (1.釧路工業高等専門学校)
キーワード：
SOG、ダイオード、pn接合
半導体デバイスの作製には，多くの高額で大きな設備を必要とし，危険性の高いガスや薬品を用いる．そのため，学校教育の一環として半導体デバイスを作製することは難しく，導入には安全に低予算で行える必要がある．そこで本研究は，汎用性の高い装置を用いた安全かつ低廉な半導体デバイス作製を実現するために，SOGによるp型ならびにn型拡散によるpn接合形成の作製実験を行い，pn接合の整流性を確認したので報告する．
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