[17p-B1-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[17p-B1-3] スパッタ法によるBaSi₂/n⁺-Siヘテロ接合型太陽電池の作製

〇佐藤 匠¹、Du Rui¹、林 洸希¹、幸田 陽一朗²、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：

半導体、太陽電池、スパッタ