[17p-C301-1~11] 9.4 熱電変換

14:00 〜 14:15

[17p-C301-3] RTAの合金化プロセスにおける熱電ホイスラー合金Fe₂VAl薄膜の作製

〇飯田 大介¹、髙村 陽太¹、中川 茂樹¹ (1.東工大工)

キーワード：

ホイスラー合金、RTA

低温排熱や体温を用いた熱電発電デバイスを実現するための熱電材料として、豊富で無害な元素から構成されるFe基ホイスラー合金Fe₂VAlに注目した。我々が開発したRapid thermal annealing(RTA)によって合金化する手法を用いてFe₂VAl薄膜を作製したところ、高い規則度のL2₁構造を有するFe₂VAl薄膜の形成に成功した。