[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

16:00 〜 16:15奨励賞エントリー

[17p-C43-12] ScAlN薄膜を用いた分極反転多層構造SMRによる二重モード型BAWフィルタ(DMB)

〇(M1)松村 桃佳^1,2、柴田 真之^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大先進理工、2.材料技術研究所)

キーワード：

BAWフィルタ、分極反転

現在スマートフォンのRFフィルタとして、SAWフィルタと、BAWフィルタが利用されている。特にBAWフィルタはSAWフィルタに比べて耐電力性が高いことから、今後より高い周波数帯(5 GHz~)への応用が期待されている。しかしBAWフィルタはDMSフィルタのような音響的な結合を利用したBAWフィルタがほとんど実用化されていない。これまでSCF やCRF といった構造に関する研究は多く報告されているものの、DMSフィルタほど広く利用されていない。SCFやCRFの圧電層を多層化すれば、通過帯域幅の調整が容易になると考えられる。
本研究では、BAW共振子同士の音響的な結合を使った新しいBAWフィルタとして、分極反転多層構造および中間電極多層構造を用いた、二重モード型BAW (DMB: Double Mode type BAW) フィルタを提案する。