[18a-A25-1~11] 3.6 レーザープロセシング

10:00 〜 10:15

[18a-A25-5] 二波長ダブルパルス照射による均一な周期を有するナノ周期構造の形成

〇竹中 啓輔¹、橋田 昌樹²、坂上 仁志^2,3、岩森 暁²、佐藤 雄二¹、塚本 雅裕¹ (1.阪大接合研、2.総合科学技術研，東海大、3.核融合研)

キーワード：

フェムト秒レーザー、LIPSS、ダブルパルス照射

チタン表面へのフェムト秒レーザーを用いた基本波と第二高調波のダブルパルス照射によって均一な周期を有するナノ周期構造が形成されることがわかった。本講演では3次元電磁粒子解析コードを用いたシミュレーション結果との比較を行い、ダブルパルス照射により均一 なナノ周期構造が形成されるメカニズムの考察結果についても述べる。