講演情報
[18a-B6-10]高誘電率ポリマー誘電体の大気コーティングによる有機薄膜トランジスタの低電圧動作
〇栗原 一徳1、佐藤 高史2、武居 淳1、吉田 学1、日下 靖之1 (1.産総研、2.京大)
キーワード:
有機半導体、高誘電率絶縁膜、溶液プロセス
高誘電率(high-k)高分子と自己組織化分子(SAM)を利用し、これをドロップキャストすることによって厚膜でも高誘電率・低表面エネルギーのフィルムを作製した。これを絶縁膜として利用し有機トランジスタの低電圧駆動を作製した。駆動電圧2.5Vでオンオフ比が104を超える良好な特性が得られた。接触角測定から、このブレンド膜は130℃まで安定であることがわかった。また、ブレンド膜は層分離した構造ではなく、SAM分子が高分子中に分散した構造をとる可能性があることもわかった。ガラス基板上に塗布したブレンド膜には大きな厚みバラつきがあることがわかった。
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