[18p-A25-1~16] 3.6 レーザープロセシング

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[18p-A25-13] p型窒化ガリウム上Ni/Au電極へのサブピコ秒レーザー照射による電気特性改質

〇福田 海人¹、須藤 直也¹、関 宏都¹、川上 拓哉¹、遠藤 翼²、高林 圭佑^2,3、小林 洋平²、山口 誠³、永松 謙太郎¹、髙島 祐介¹、直井 美貴¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：

超短パルスレーザー、窒化ガリウム