2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[18p-A32-15]残留ガス回収型プラズマ源の活性酸素種の影響範囲評価

〇數原 瑠威1、白藤 立1、呉 準席1 (1.大阪公大工)

キーワード：

プラズマ、活性酸素種

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