2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[18p-A32-15]残留ガス回収型プラズマ源の活性酸素種の影響範囲評価

〇數原 瑠威1、白藤 立1、呉 準席1 (1.大阪公大工)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

プラズマ、活性酸素種

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る