[18p-A32-1~19] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

14:15 〜 14:30

[18p-A32-4] 次世代LiB特性向上に資するSiナノ粒子生成最適化のためのプラズマスプレー整流性指標の検討

〇道垣内 将司¹、山中 瑞貴²、田中 暁巳³、竹内 啓³、福田 健一¹、神原 淳² (1.島根産技センター、2.阪大院工、3.竹内電機株式会社)

キーワード：

プラズマスプレー、ナノ粒子、移動エントロピー

RFプラズマスプレーによる次世代高容量リチウムイオン電池負極向けSiナノ粒子の製造において、プラズマ流の整流化によりプロセスばらつきを低減することで、生成粒子の粒径が均一化し電池サイクル特性が向上した。プラズマスプレープロセスの最適化に向けた整流性の指標として情報理論で用いられる移動エントロピーを採用し、流体解析で得られた流線間の因果関係を評価することで定量的な指標となり得る可能性を見出した。