2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18p-P02-18]反応性スパッタリングを用いた酸化チタン成膜における窒素添加効果

〇(M2)安藤 秀太1、太田 貴之1 (1.名城大理工)

キーワード：

光触媒、酸化チタン、スパッタリング

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