[18p-P02-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-P02-18] 反応性スパッタリングを用いた酸化チタン成膜における窒素添加効果

〇(M2)安藤 秀太¹、太田 貴之¹ (1.名城大理工)

キーワード：

光触媒、酸化チタン、スパッタリング