2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18p-P02-26]ZnOをバッファ層とするガラス基板上VO2薄膜堆積における成膜圧力と基板バイアスの影響

〇下野 慎平1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)
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キーワード：

薄膜、二酸化バナジウム、酸化亜鉛

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