2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

[18p-P02-26]ZnOをバッファ層とするガラス基板上VO2薄膜堆積における成膜圧力と基板バイアスの影響

〇下野 慎平1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)

キーワード：

薄膜、二酸化バナジウム、酸化亜鉛

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る