[18p-P12-1~3] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-P12-3] GEO-X衛星に向けた MEMS 技術を用いた超軽量X線望遠鏡の開発

〇(D)森下 弘海¹、江副 祐一郎¹、石川 久美¹、沼澤 正樹¹、伊師 大貴²、山田 裕大¹、石川 怜¹、森本 大輝¹、石牟礼 碧衣¹、小笠原 勇翔¹、宮内 俊英¹、世良 直也¹、中川 悠¹、福島 優¹、満田 和久³、森下 浩平⁴、中嶋 一雄⁵ (1.東京都立大学、2.宇宙科学研究所、3.高エネルギー加速器研究機構、4.九州大学、5.東北大学)

キーワード：

X線望遠鏡、MEMS、GEO-X

我々は、地球磁気圏X線撮像衛星 GEO-X への搭載に向けて MEMS 技術を用いたX線望遠鏡の開発を進めている。2 枚の薄い Si 基板に微細穴を開け、側壁を反射鏡とする。それぞれ異なる曲率で変形し、組み上げることで原理的に世界最軽量のX線望遠鏡となる。我々はこれまで、望遠鏡性能向上のためプロセスの改善を行ってきた。本講演では開発の進捗について発表する。