[19a-B6-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

9:00 〜 9:15

[19a-B6-1] 有機光検出器の電子輸送層用ZnO膜のドライアニール効果

〇多川 友作¹、染谷 隆夫¹、横田 知之¹ (1.東大工)

キーワード：

有機光検出器、酢酸亜鉛二水和物、乾燥アニール

有機光検出器（OPD）において酢酸亜鉛二水和物を溶解した溶液プロセスによって製膜された酸化亜鉛電子輸送層(ETL)は、高い電子取り出し効率を有するためOPDで最もよく用いられるETLである。しかし、成膜時反応に必要な大気中の水分子は、活性層との界面に不要な欠陥や安定性の低下をもたらす。そこで、ETL製膜後に水・酸素分子の極めて少ないグローブボックス内でドライアニールを施すことで、ETLの膜及び活性層との界面特性を向上し、デバイス特性や安定性を改善できることを示す。