[19p-B2-1~14] 3.6 レーザープロセシング

13:45 〜 14:00

[19p-B2-4] TypeⅡ型光導波路レーザ書き込み過程の直接観察

〇吉崎 れいな¹、福井 智大¹、伊藤 佑介¹、服部 隼也¹、手嶋 勇太¹、北村 章吾¹、杉田 直彦¹ (1.東大工)

キーワード：

超短パルスレーザ、光導波路、直接観察

透明材料に超短パルスレーザで密度低下の改質を2本書き込むことで形成される光導波路はTypeⅡとして知られ，中でも水晶等の，ひずみで形成される導波路は高い伝搬損失が課題である．低損失化のため加工パラメータの最適化が試みられてきたが，なぜ損失とパラメータの関係は明らかでない．そこで本研究はTypeⅡ型光導波路書き込みの直接観察と光導波路評価で，ミクロな加工現象とマクロな光導波路性能の関係を明らかにする．