[19p-C31-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[19p-C31-4] プルーム画像からの薄膜生成プロセス条件推定におけるプルーム動画像の移動平均に関する考察

〇(M1)八谷 達磨¹、堀尾 恵一^1,5、山崎 春太郎²、一野 裕亮^3,5、一瀬 中^4,5、堀出 朋哉^2,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5 (1.九工大、2.名大、3.愛工大、4.電中研、5.JST-CREST)

キーワード：

機械学習、プルーム、畳み込みニューラルネットワーク

我々は，薄膜生成の再現性向上およびプロセス安定化のために，プルーム画像からプロセスパラメータの推定を目指している。レーザー強度と酸素分圧を変化させ，各条件でプルームを撮影し，プルーム画像を入力とする畳み込みニューラルネットワークによりパラメータを推定する。本稿では，プルームの揺らぎによるばらつきが精度の低下を招くと考え，プルーム動画像に対し移動平均を施すことで揺らぎの影響を軽減する。