[19p-D62-1~17] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

14:30 〜 14:45

[19p-D62-6] 光ヘテロダイン光熱変位法による人工的に制御したSi粒界構造の界面熱コンダクタンス測定

〇原田 知季¹、沓掛 健太朗²、宇佐美 徳隆²、碇 哲雄¹、福山 敦彦¹ (1.宮崎大工、2.名大)

キーワード：

粒界、界面熱コンダクタンス、界面熱抵抗

多結晶材料の特性はミクロな粒界によって決定されるため、個別の粒界の性質を明らかにすることは、多結晶材料の高性能化に資する。界面熱コンダクタンス(TBC)は実測例が多くなく、体系的に用意された粒界についての報告例はなかった。本研究では、人工的に、体系的に用意した粒界を持つSiを作製し、TBCを評価した。その結果、結晶成長時の成長方向からの粒界面のずれ角が大きいほど、TBCが大きい結果が得られた。