2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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15:00 〜 15:15

[19p-D63-7]原子移動を用いた微細化によるPt/TiOx接合型水素センサの高性能化

〇内藤 泰久1、島 久1、秋永 広幸1 (1.産総研)
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キーワード：

水素センサ、ナノギャップ、原子移動

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