[19p-P10-1~6] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[19p-P10-4] スピンコート法によるテクスチャ化Si太陽電池上酸化チタン・酸化ジルコニウム反射防止膜に関する研究

佐古 知美¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：

シリコン系太陽電池、反射防止膜

当研究室では、テクスチャ化Si基板上への反射防止膜形成に、安価な方法であるスピンコート法を検討している。今回、溶液にはZrO2とTiO2の混合溶液を用い、溶液の混合比率や形成条件等が、反射率及び太陽電池の特性に与える影響について検討した。