[20a-B6-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

11:00 〜 11:15

[20a-B6-8] アニール処理時電界印加によるP(VDF/TrFE)薄膜の焦電性向上の評価

〇酢谷 陽平¹、福住 正文¹、泉 宏和¹ (1.兵庫県立工業技術センター)

キーワード：

P(VDF/TrFE)、焦電性

P(VDF/TrFE)薄膜に対してアニール処理中に電圧印加を行うことで焦電性が向上することはわかっていたが、焦電性能をあらわす電気物性の変化についてはわかっていなかった。本研究では性能指数に含まれる誘電率や誘電損失などの物性値を明らかにすることで、焦電性が向上する定量的な要因解明を行った。