[20a-P07-1~1] 15.1 バルク結晶成長

[20a-P07-1] 混晶バルクSiGe結晶の機械的特性 III

〇荒井 康智¹、内田 茂樹²、神田 剛²、草間 正寛²、椿 浩二²、片野 佳文²、片岡 正巳³、佐々木 新悟³、佐藤 靖則³、松村 億久³、小八重 竹夫³、川崎 拓也³ (1.宇宙機構、2.トプコン、3.ティーディーワイ)

キーワード：

シリコンゲルマニウム、弾性定数

本講演では、これまでに報告してきた混晶バルクSiGe多結晶で計測された体積弾性率およびずり弾性率と結晶構造との関係、および単結晶を利用した音速測定結果と弾性定数導出について報告する。