[20p-A34-1~12] 3.8 テラヘルツ全般

16:00 〜 16:15奨励賞エントリー

[20p-A34-9] テラヘルツ波反射防止用TiO₂コーティングSiモスアイ構造

〇(M2)三浦 悠杜¹、Agulto Verdad²、加藤 康作²、Raduban Marilou^2,4、山ノ井 航平²、中嶋 誠²、前川 覚¹、糸魚川 文広¹、Olejnicek Jiri³、小野 晋吾¹ (1.名工大工、2.阪大レーザー研、3.Czech Academy of Sciences.、4.Massey Univ.)

キーワード：

テラヘルツ、レーザープロセシング

近年、テラヘルツ波は幅広い分野での応用が期待されているが、光学材料の界面での大きな反射損失が問題となっている。この反射損失を低減する手法として、モスアイ構造がある。しかし、モスアイ構造の突起の幅と高さの比を大きくすると低反射率を実現できるが、機械的強度が低いという欠点がある。そこで我々はモスアイ構造へコーティングを施し、機械的強度を維持しつつ、低周波数側の反射率低減につながる新たな設計を考案した。