[20p-P02-1~29] 9 応用物性（ポスター）

[20p-P02-10] 窒素欠陥を導入したグラファイト状窒化炭素膜の水素センサ特性

〇(M1C)植村 皇介¹、石黒 康志²、金杉 和弥¹、立木 隆²、平栗 健二¹ (1.東京電機大、2.防衛大)

キーワード：

グラファイト状窒化炭素、水素センサ、窒素欠陥

グラファイト状窒化炭素 (g-C₃N₄) は、近年その優れたガス吸着特性からガスセンサへの応用も注目されている。最近、我々はg-C₃N₄膜を水晶振動子上に製膜し、水晶振動子マイクロバランス (QCM) 法による水素ガスの検知に成功した。本研究では、水素センサの動作原理の解明やセンサ特性の向上に向けて、g-C₃N₄に窒素欠陥を導入し、化学組成や電子物性の変化が水素センサ特性に及ぼす影響を報告する。