講演情報
[10a-PA4-5]Mn溶出によるMn-DLC膜の構造変化
〇神田 一浩1、中西 康次1、部家 彰2、金杉 和弥3、平栗 健二3、堀 史説4、木野村 淳5 (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.電機大工、4.大阪公大工、5.京大複合研)
キーワード：
金属元素含有DLC膜、陽電子消滅分光、X線吸収分光法
骨形成促進作用を持つMnを含むDLC膜に着目し、Mnの溶出に伴う構造変化について調べた。低速陽電子ビームを用いた陽電子消滅分光法（PAS）により、DLC膜内の空孔型欠陥が増加することを突き止めた。また、放射光を用いてMnのK吸収端X線吸収分光法（XAS）測定を行い、Mn-DLC膜内のMnは金属結合していることを明らかにした。DLC膜内でMnが金属ナノ粒子を形成していると考えられる。