[10a-PB2-1~7] 3.5 超高速・高強度レーザー

[10a-PB2-5] サファイア上ScAlNスパッタ膜の光第二高調波発生の測定

〇市川 卓人¹、Anggraini SriAyu¹、鈴木 大地¹、平田 研二¹ (1.AIST)

キーワード：

光第二高調波発生、ラジアル偏光、ScAlNスパッタ膜

本研究はラジアル偏光を用いた光第二高調波発生(SHG)の光学系により、薄膜表面に対して垂直に近いテンソル成分のSHGの測定を実施した。サンプルはサファイア(c-Al2O3)上にスパッタ成膜したScAlN薄膜である。計測は1064 nmピコ秒レーザーを用いて実施し、532 nmの透過SHG光を検出した。本計測手法はScAlNの紫外領域光学デバイスなどの応用のための膜評価手法としての展開が期待される。