講演情報
[10p-E308-11]原子間力顕微鏡カンチレバーの屈曲振動／ねじれ振動の切り替えが可能な磁気力励振機構
古木 滉一朗1、〇影島 賢巳1 (1.大阪電通大工)
キーワード：
原子間力顕微鏡、カンチレバー、磁気力励振
固液界面近傍の原子間力顕微鏡による分析では、カンチレバーの界面垂直方向の変調と界面平行の変調によって異なる情報を得ることができる。定量性と信頼性に優れた磁気力変調方式でこれら2モードのその場切り替えを実現するため、新しい2ピース型の電磁石機構を開発した。電磁石を対称極性／反対称極性で駆動することで、界面平行方向着磁の永久磁石を貼付したカンチレバーに捻じれ振動／屈曲振動をそれぞれ誘起できる。