[10p-E311-1~13] 7.2 電子ビーム応用

14:30 〜 14:45

[10p-E311-5] 電子ビームの放射角抑制のための W ナノ突起 FE 電子源の構造最適化

〇永井 滋一¹、志摩 惇紀¹、岩田 達夫¹ (1.三重大院工)

キーワード：

電界放出型電子源、電子光学

高輝度電子源の実現に向け，Wナノ突起電界放出電子源のビーム発散角の抑制条件を，電子光学シミュレーション（SIMION）と電界放出顕微鏡（FEM）で系統的に評価した。電界誘起酸素エッチングで作製したナノ突起の高さとシャンク角を変化させた結果，突起が低く，シャンク角が大きいほど発散角は減少し，シャンク角22°で半発散角4.4°を達成した。実験は計算と良く一致し，構造最適化の設計指針を得た。