[10p-N101-1~17] CS.8 6.2 カーボン系薄膜、KS1 固体量子センサ研究会のコードシェアセッション

15:15 〜 15:30奨励賞エントリー

[10p-N101-6] 炭素固溶シーディング法によるニッケル基板上ダイヤモンドの高配向化

〇佐々木 竜夢¹、小林 和樹^1,2、林 寛^1,2、市川 公善^1,2、山崎 聡²、猪熊 孝夫^1,2、松本 翼^1,2、徳田 規夫^1,2 (1.金沢大、2.ダイヤモンド研究センター)

キーワード：

ダイヤモンド

本講演では、Ni基板上での低コストかつ高品質なダイヤモンド自立基板の作製を目的として、炭素固溶反応と水素プラズマエッチングを用いたマイクロサイズ単結晶ダイヤモンド粒子の配向制御について報告する。水素プラズマ処理による粒子の面内配向制御と粒子間結合の促進について示し、そのメカニズムおよび形成したダイヤモンド膜の評価結果について議論する。