講演情報
[10p-PB1-11]UPS/LEIPSによるNb添加TiO2膜のエネルギーバンド解析
〇佐藤 誓1、伊藤 孝憲1、木村 遼太2、神永 健一2、松本 祐司2 (1.日産アーク、2.東北大学)
キーワード：
酸化物半導体、電子分光分析、エネルギーバンド
Nb添加TiO2膜は、ITOに匹敵する導電性を有する透明半導体（n型）として知られており、良好な導電性の起源として、第一原理計算等によって、伝導帯下端におけるTi, Nbのもつd電子の混成軌道形成が報告されている。ただ、エネルギーバンド、特に伝導帯に関する実験結果およびそれに対する議論は非常に少ない。一方、電子分光分析手法である紫外線光電子分光（UPS）および低エネルギー逆光電子分光（LEIPS）は、それぞれ電子状態における価電子帯、伝導帯の情報を直接得られる手法であり、エネルギーバンド調査に適している。本研究では、Nb添加量の異なるTiO2膜をUPS/LEIPS分析し、エネルギーバンドを調査することで、本試料の電気伝導性の物理的起源を検討した。