講演情報
[11a-A24-10]大口径メタレンズを用いた1 µm帯ナノ秒レーザーマイクロ加工
〇川野 将太郎1、本橋 和也2、的場 みづほ1、櫻井 治之1、小西 邦昭1 (1.東大院理、2.小糸製作所)
キーワード：
レーザーマイクロ加工、メタレンズ
レーザーマイクロ加工では高NA対物レンズが広く用いられるが、短い作動距離や大型鏡筒による空間的制約が課題である。本研究では、直径22 mm、NA0.7の大口径メタレンズを開発し、1064 nmレーザーによるマイクロ加工を実証した。シリコンへの微細穴加工で市販対物レンズと同等の加工性能を示し、さらにカメラパッケージ内部へのロゴ描画加工を実現した。これにより、大口径メタレンズのレーザーマイクロ加工への有効性が示された。