講演情報
[11a-A24-4]アクロマティックカスケード光学系によるフェムト秒パルスビーム集光特性のハイブリッドレンズ位置誤差に対する許容度
〇(M2)間鍋 樹1、中野 秀俊1 (1.東洋大院理工)
キーワード：
フェムト秒パルス、回折光学素子
フェムト秒レーザー加工の高スループット化に向け、回折光学素子によりビームを分岐させるアクロマティックカスケード光学系が提案された。本研究では、中心波長 780 nm、スペクトル幅 50 nm のチタンサファイアレーザーを使用し、屈折レンズと回折レンズから成るハイブリッドレンズの配置誤差が集光特性に与える影響を評価した。その結果、設計位置から光軸方向に ±5 mm 移動させた範囲で、最小ビーム径は回折限界に近い約 20 µm を維持した。