講演情報
[11a-B12-5]薄型中空封止を用いた有機半導体単結晶振動センサの長期安定動作の実証
〇(M1C)滝 悠護1、牧田 龍幸2、鶴見 淳人2、久保寺 慧1、山下 侑1,3、亀山 亮平1、竹谷 純一1,2,3 (1.東大院新領域、2.パイクリスタル、3.物材機構)
キーワード：
有機半導体単結晶、振動センサ、中空封止
有機半導体単結晶を用いた振動センサは、配管等の異常振動を多点検出する設備状態監視への応用が期待されるが、酸素や水分による劣化が課題となる。本研究では、振動部の変位空間を保持するABS樹脂枠とバリアフィルムからなる薄型中空封止構造を適用した。封止は機械応答を阻害せず、60℃・90%RHの加速劣化試験で1000h後も抵抗増加率を15%以下に抑制し、高温高湿環境下での長期安定動作を実証した。