講演情報

[11a-C212-6]周波数領域干渉を用いた距離計測の計測レンジ拡大

〇山根 和眞1、新井 健太1、相沢 知樹1、塩田 達俊1 (1.埼玉大理工)

キーワード:

距離計測、周波数領域、レーザー干渉

産業界で高精度な距離計測が求められる中、光路長揺らぎの影響を受けない「周波数領域干渉法(FD-I)」が提案されている。本手法は同一経路の光を周波数軸上で干渉させ、波長差による位相差から距離を計測する。特に変調周波数を変化させることで計測レンジの拡大・縮小が可能になるという特長があり、本研究ではこの特性を活かして、広い範囲での測定が可能であることを実験的に示す。