講演情報

[11a-PA3-12]VLMプロンプトレベル制御による半導体微細構造の形態解析

〇藤本 悠羽1、佐伯 紫苑1、新田 紀子1 (1.高知工大)

キーワード:

半導体、電子顕微鏡画像、VLM