講演情報
[8a-B31-5]グレースケール紫外線リソグラフィによる蛍光性PDMS薄膜の直接描画
〇岡本 創1、高橋 陸1,2、大嶋 梓1,2、佐々木 智1 (1.NTT物性基礎研、2.NTT BMC)
キーワード：
PDMS、薄膜、リソグラフィ
PDMSは柔軟性・透明性・生体適合性に優れた透明ポリマーであり、蛍光材料の添加により発光機能を付与できることから、ウェアラブル光デバイスやバイオセンシングなどへの応用が期待されている。一方、従来のPDMSリソグラフィは鋳型やフォトマスク作製を含む多段階プロセスを要するため、簡便なパターニングや高自由度な微細構造形成が困難であった。本研究では、膜厚制御可能なグレースケール紫外線リソグラフィを用いて、蛍光性PDMS薄膜のマスクレス微細パターニングを実現したので報告する。