講演情報
[8a-B31-6]ポリブタジエン塗布膜への真空紫外光照射によるDLC膜の室温形成
〇長岡 歩1、吉田 司1、孫 鶴1、吉田 麗娜2、宋 侣洋3、硯里 善幸3,4 (1.山形大院有機、2.東京高専、3.山形大INOEL、4.山形大院理工)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン、ポリブタジエン、真空紫外光
ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は優れた機能を持つ非晶質炭化水素膜であるが、低コスト・大面積化に向けた溶液プロセスの確立が課題である。そこで本研究では、ポリブタジエン塗布膜への真空紫外光（VUV光）照射を行うことで、室温・溶液プロセスによるDLC膜の形成を目的とした。薄膜のFT-IR、ラマン分光の結果、VUV光照射による脱水素反応とDLC膜の形成が確認された。