2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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11:15 〜 11:30
[8a-C214-9]
ナノポア形成とイオン電流計測を統合した16チャネル固体ナノポアシステムの開発
〇柳 至
1
、喜友名 正
2
、江刺家 恵子
3
、柳川 善光
4
、Nguyen Pham Hai Huy
4
、川井 大輝
1
、荻原 智
1
、荻野 楽
1
、武田 健一
4
、上村 想太郎
1
(1.東大院理、2.日立情報通信、3.慶大理工、4.日立研開)
キーワード:
ナノポア、絶縁破壊、アレイ計測
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